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碳化硅衬底是什么意思

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问题更新日期:2024-10-13 04:08:14

问题描述

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是指第三代半导体材料中氮化镓、碳化硅应用的基石。受技术与工艺水平限制, 氮化镓材料作为衬底实现规模化应用仍面临挑战,其应用主要是以蓝宝石、硅晶片或半 绝缘碳化硅晶片为衬底,通过外延生长氮化镓以制造氮化镓器件,主要应用于宏基站通信射频领域。

其他回答

碳化硅是一种良好的耐火材料,碳化硅衬底,也就是用碳化硅做底部耐火材料。