非接触式测量膜层表面方块电阻的原理是什么

问题描述

精选答案

测量首先要有一个激励信号输入，再检测变化量。

非接触测量的激励信号可能是光，或者微波（光的一种）。假如膜层材料的导电性较好，可以通过检测反射微波的变化来进行测量；假如膜层材料的半导体特性较好，可以通过检测激光照射前后的表面光电压的变化来进行测量，非接触测量一般需要用标准件预先标定或校准。建议采用接触式测量更容易实现。