什么是溅射合成

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精选答案

溅射技术广泛引用于制备多晶质和无定型薄膜，也可以在适当条件下制备单晶薄膜。按是否发生化学反应来划分，溅射技术可以分为阴极溅射、反应溅射、吸气溅射三种。

应用：钡铁氧体薄膜的溅射合成

PTC电子陶瓷薄膜的溅射合成

二氧化锡气敏薄膜的溅射合成。