简述电磁透镜球差、色差及象散的形成机制

问题描述

精选答案

球差是由电磁透镜近轴区域磁场和远轴区域磁场对电子束的折射能力不同而产生的像差。

近轴区域对电子束的折射能力弱，远轴区域对电子束的折射能力强。像散是由透镜磁场的非旋转对称引起的像差。透镜的极靴孔加工误差，上、下极靴的轴线错位、极靴材质不均以及极靴孔周围的局部污染等，都会引起透镜的磁场产生椭圆度。色差是由于成像电子的能量不同或波动，电子在透镜磁场中运动速度不同，从物面上一点散射的电子不能聚焦在像面上同一点而形成的像差