机床激光干涉仪是检测什么的

问题描述

精选答案

激光干涉仪可以精确测量载物台或硅片台(统称载物台)的位 置及旋转。对于光刻机载物台水平方向X向或Y向的测量(在此定义坐标系垂向为Z向， 水平方向为X向和Y向)，可直接在载物台侧面安装垂直于水平方向入射光的长方形反射 镜，测量X坐标和Y坐标。

一般说来，载物台垂向行程不大，水平向行程却很大，而载物台 侧面无需载物，所以侧面安装和行程相当的长方形反射镜，可以在大行程内测量载物台的X 坐标和Y坐标。进一步的，同一个方向上用二个以上的光轴可测量载物台的旋转。比如对 X向和Y向同一个反射镜上的各三个不同点进行测量，可测得载物台沿水平向X轴或水平 向Y轴的平移、载物台绕水平向X轴或水平向Y轴的旋转以及绕垂向ζ轴的旋转(X，Y，Rx， Ry, Rz)。