集成电路的基片为什么要用硅来做，其他材料不行吗

问题描述

精选答案

用Si的最大优点就是能够采用氧化、光刻、扩散等平面工艺来制作出微小的、性能优良的元器件，从而可以实现集成电路，并进而做出大规模集成电路。

Ge片上不能获得很好的氧化膜，则不便采用平面工艺，故难以做出集成电路（最多只能实现小规模集成），更难以做出大规模集成电路。其他GaAs等化合物半导体，也同样存在这个问题。