半导体离子源起辉为什么用氩气

问题描述

精选答案

第一，氩气较容易获得，第二，氩气是惰性气体，不与其他元素反应，便于研究，可常做保护气体，第三，氩气的电子碰撞反应比较少。

所以基础研究人员常用氩气放电来产生等离子体。

但是研究范围和内容很广泛，使用的气体多种多样，此回答仅在从适合基础研究的角度考虑。

若一些大气压放电，那么氧氮氢等都适合放电。

其他低气压也可使用氦，氙。

有些热等离子体则使用金属蒸汽，比如锂