影速ldi曝光机曝光能量如何测试

问题描述

精选答案

您好！根据我所查到的资料，一种LDI曝光机能量均匀性检测方法，包括以下步骤：准备测试板和干膜，并在所述测试板上设置定位孔；

制作曝光图形文件，所述曝光图形文件内设定有与曝光机内所需检测的能量区一一对应的图形区，每个所述图形区均设定有宽度信息值；

将所述干膜贴设于所述测试板上；

将贴设干膜的所述测试板材放入曝光机中，曝光机抓取定位孔，根据所述曝光图形文件对所述测试板进行曝光处理；

将经过曝光处理的测试板进行显影处理；测定测试板上干膜各显影区宽度；比较每个所述显影区和与之对应的所述图形区的宽度大小。