半导体刻蚀为什么要用黄光

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精选答案

黄光是在半导体行业里，将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤，使其光刻出一定图形的工艺。特点是，黄光是精细电路的制程工艺之一。黄光能做的线路比较细，蚀刻是做不来的。黄光成本高，良率低，对环境要求高，流程长，异常多。

蚀刻成本低，良率高，对环境要求比黄光低，流程短，工艺成熟，异常少。

其他回答

警校考研叨咕叨

因为光刻胶对黄光不敏感，所以可以用黄光使生产环境更加接近自然光。而进入EVU时代甚至可能对可见光都不敏感，届时可能现场灯光又换了。 至于胶片暗房，实际上红灯仅仅对于色盲黑白片是安全的，全色片和彩色片都不能用红灯