atf激光器是什么

问题描述

精选答案

atf激光器是一种小型激光直写光刻机。包括：光纤激光器、分光镜组件、照明模块、自动聚焦模块、分别设置在分光镜组件上方和下方的摄像头和压电物镜、设置在分光镜组件和自动聚焦模块之间的双反射镜、以及分别与光纤激光器、自动聚焦模块和压电物镜通信连接的控制中心。