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直拉硅单晶炉机械部分主要是什么

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问题更新日期:2024-10-13 17:54:49

问题描述

直拉硅单晶炉机械部分主要是什么希望能解答下
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直拉单晶炉机械结构的工作原理:直拉单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。直拉单晶炉机械结构如下: