单晶硅和多晶硅的主要生产设备

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精选答案

主要设备是晶炉，晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位晶硅的设备。在实际生产单晶硅和多晶硅过程中，它扮演着控制硅晶体的温度和质量的关键作用。

由于单晶和多晶直径在生长过程中可受到温度、提拉速度与转速、坩埚跟踪速度、保护气体流速等因素影响，其中生产的温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶和多晶拉出后通过检测才能获知，晶炉主要控制的方面包括晶体直径、硅功率控制、泄漏率和氩气质量等。