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激光超疏加工方法

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问题更新日期:2024-10-13 19:22:00

问题描述

激光超疏加工方法希望能解答下
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利用电子束蒸发或者磁控溅射镀膜法在待加工材料基底上镀上一层纳米厚度的膜;

利用飞秒激光直写方法,在步骤二镀上纳米厚度薄膜的待加工材料基底上进行图案化,图案化的形状可以是通过程序控制的任意形状;

利用加热装置,对步骤三飞秒激光图案化的基底进行热氧化处理,制备出微纳复