闪存颗粒是怎么做成的

问题描述

精选答案

闪存颗粒制造第一步：硅提炼

首先是硅提炼，被选用的石英砂会被放入一个高达2000℃的电弧熔炉进行提炼，得到纯度约为 98% 的纯硅。

但98%的纯度还无法达到芯片级晶圆的生产要求，还需要进一步提纯。经蒸馏与化学作用后，最终提炼出纯度高达 99.999999999% 的多晶硅。

闪存颗粒制造第二步：单晶硅生长

第二步就是单晶硅生长，单晶硅生长通常采用直拉法，就是将已提炼好的高纯度多晶硅放在石英坩埚中，通过高温将其融化，然后提供一个籽晶即过冷度，边旋转边提拉，冷却后就生长成了与籽晶内部晶格方向相同的单晶硅棒。

闪存颗粒制造第三步：切割、研磨、抛光

单晶硅棒生产出后，将其按照适当的尺寸进行切割、研磨、抛光，晶圆片就成型了。

以上三步的完成，只是宣告沙子完成了向晶圆的华丽蜕变，但真正要变成芯片或者具备存储功能，还需要进行涂膜、曝光、显影、蚀刻、离子植入等精密操作。因为工艺难度极高，需要非常高精尖的光刻机才能完成。

完成上面的几道工艺，晶圆上就形成了一个个格状的晶粒。通过针测的方式对每个晶粒进行功能性检测，合格的晶粒就被组装进电路板中。