半导体压阻式进气压力传感器工作原理

问题描述

精选答案

压阻式压力传感器工作原理

压阻式压力传感器工作原理是用ISO技术将半导体材料的敏感芯片封装在不锈钢波纹膜片的壳体中，在不锈钢波纹膜片和芯片之间充有硅油。

基本信息

中文名 压阻式压力传感器工作原理

外文名 The work principle of pressure transducer

理论介绍

压阻式压力传感器工作原理

用ISO技术将半导体材料的敏感芯片封装在不锈钢波纹膜片的壳体中，在不锈钢波纹膜片和芯片之间充有硅油。芯片引线穿过壳体引出并采用密封措施，防止硅油向外泄露或外面的压力介质渗入其中，这样芯片、硅油、壳体和引线组成压力传感器。当传感器处在压力介质中时，介质压力作用于波纹膜片上使使其中的硅油受压，硅油将膜片的压力传递给半导体芯片。芯片受压后使其电阻值发生变化，电阻信号通过引线引出。不锈钢波纹膜片壳体受到压力并保护芯片，因而压阻式压力传感器能在有腐蚀性介质中感应压力信号。

压阻式压力传感器一般通过引线接入惠斯通电桥中。平时敏感芯片没有外加压力作用，电桥处于平衡状态（称为零位）当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥失去平衡。若给电桥加一个恒定电流或者电压电源，电桥将输出与压力对应的电信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换为压力信号输出。

其他回答

造价人儿

由于空气在进气歧管内流动时会产生压力波动，因此，使用压力传感器的测量精度不高，但控制系统的制造成本较低。有很多电喷发动机不用空气流量计而用歧管压力传感器，它和曲轴位置传感器一起决定着发动机工作的基本供油量。

通常，测量空气量方法的传感器可分为两种，进气歧管压力传感器（即负压力型）和空气流量传感器。压力传感器检测进气歧管内的绝对压力，测量方法属于间接测量法。