传感器边缘效应名词解释

问题描述

精选答案

电容式传感器极板之间存在静电场，式边缘处的电场分布不均匀，造成电容的边缘效应，这相当于再传感器的电容里并联了一个电容，这就叫边缘效应。不利影响：会引起极板间的电场分布不均，导致非线性问题仍让存在，且灵敏度下降。

典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时，薄膜会发生一定的变形，因此，上下电极之间的距离发生一定的变化，从而使电容发生变化。

但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系，因此，要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。