2nm光刻机是什么

问题描述

精选答案

2nm光刻机是芯片制造的核心设备之一。

在加工芯片的过程中，2nm光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

2nm光刻机的结构组成：

1、测量台、曝光台：是承载硅片的工作台。

2、激光器：就是光源，光刻机核心设备之一。

3、光束矫正器：矫正光束入射方向，让激光束尽量平行。

4、能量控制器：控制最终照射到硅片上的能量，曝光不足或过足都会严重影响成像质量。

5、光束形状设置：设置光束为圆型、环型等不同形状，不同的光束状态有不同的光学特性。

6、遮光器：在不需要曝光的时候，阻止光束照射到硅片。

7、能量探测器：检测光束最终入射能量是否符合曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。

8、掩模版：一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，贵的要数十万美元。

9、掩膜台：承载掩模版运动的设备，运动控制精度是nm级的。

10、物镜：物镜用来补偿光学误差，并将线路图等比例缩小。

11、硅片：用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸，尺寸越大，产率越高。

12、内部封闭框架、减振器：将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持稳定的温度、压力。

其他回答

经济圈探者

没有2nm光刻机这种机器。

所谓几nm指的是芯片的工艺制程，而不是光刻机。而且现在也没有2nm的芯片，目前芯片最小制程是4nm。就算有2nm，也是指用13.5nm极紫外光光源的euv光刻机，通过技术手段使芯片工艺制程达到2nm，而非是使用2nm光刻机。

其他回答

六安教师

2NM光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备。