什么是靶材

问题描述

精选答案

靶材是用于制造半导体材料、涂层材料等的基础材料。它通常是一种高纯度的金属或化合物，用于在磁性材料、光学材料、超导材料、医学及生物材料等领域中进行研究和制备。

在半导体材料的制备过程中，靶材作为一个“目标”，被放置在真空腔内，通过电弧、离子束等方式使其表面受到轰击，从而产生原子、离子等，以沉积在半导体基片上，形成所需的薄膜。因此，靶材是半导体材料制备的重要基础材料之一。

其他回答

会计小白鼠

简单地说，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。