半导体和芯片的洁净室哪个好

问题描述

精选答案

芯片的洁净室好。

半导体（FAB）洁净室中相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区──或者在远紫外线处理（DUV）区甚至更小──而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。