jgg电感测厚仪的工作原理
问题更新日期:2024-10-14 06:24:55
问题描述
jgg电感测厚仪的工作原理求高手给解答
- 精选答案
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电感测量仪具有简单实用的分选功能,此功能的参数设置简便易行,结果显示直观,可以满足人们使用单位的进货检验和电感生产线的快速分选测量要求。
该电感测试仪采用桥式电路结构,标准电感器和被试电感器作为桥式电路的两臂。当进行电感器电感值测量时,测试电压同时施加在标准电感器和被试电感器上,处理器通过传感器同采集流过两者的电流信号并进行处理后得被试电感器的电感值。
- 其他回答
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其工作原理为金属探针接触硅片表面来完成测量。由于是在酸腐蚀岗位,所以往往测量硅片厚度时,硅片表面不可避免的会引入稀释的酸溶液,酸溶液会与金属探针产生化学反应,在硅片表面引入金属残留,会在后续的硅片热处理工序产生极大的负面影响。
而且经过长期的腐蚀作用,电感测厚仪测量精度会越来越差,直接影响腐蚀岗位的硅片厚度控制,严重情况下,可能导致硅片报废。
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