AFM表面粗糙度怎么测量

问题描述

精选答案

表面粗糙度测量法是对工件表面微观几何形状的测量方法。常用的有：

①比较判别法。

以视觉(或触觉)将被测零件表面与表面粗糙度样块相比较，鉴别出被测表面粗糙度相当于哪一等级。

②光切法。

光线经一定的光路，形成狭窄的片状光束，以一定的角度(如45°)射到被测表面上，与被测表面相交呈一轮廓曲线，以光切显微镜量得该曲线的有关参数，代表该表面粗糙度水平。

③干涉法。

根据光波干涉原理，以干涉显微镜将反映表面粗糙度的干涉条纹的有关参数测量出来