蓝宝石衬底生产工艺中要哪些设备和耗材

问题描述

精选答案

问题是LED外延片生长是吧，那就仅仅是GaN基的LED的生长。 用到的设备主要是MOCVD设备。当然还有一些辅助设备，比如尾气处理系统、超净间及排风系统、水冷系统、气站和供气系统等。使用的原料和耗材我原来回答过，如下：

1、生产原材料累 蓝宝石衬底（图形衬底或平面衬底）、有机源（镓源、镁源、铝源等）、氨气、高纯氮、高纯氢 2、设备易损件 石墨盘（100多炉换，看工艺了）、加热系统备件（没问题的话能用年把）、尾气过滤器（常换）Veeco有些型号的设备带有小型气体纯化器，此类不能再生，也应该算耗材之一吧。

3、配套耗材 手套、无尘布、无水乙醇、尾气中和用的酸等工艺流程是1将蓝宝石衬底放入MOCVD2高温到1050度左右退火或叫高温刻蚀3低温到500度左右长低温层4高温到1050度左右生长非掺GaN和n型GaN5生长量子阱6生长p型GaN7取出来就完成外延工艺了下面就该转到芯片工艺去了。