电镀真空炉开机步骤

问题描述

精选答案

1、打开真空炉门并装料。关闭炉门，确保炉子密封良好。

2、检查所有手动真空阀，确保其关闭。

3、当主电源接通时，控制显示屏亮起。

4、打开冷水机组电源，在冷水机组操作界面输入所需水温，启动水冷系统（详见冷水机组操作手册）。

5、打开旋叶泵上的排气口，确保气体循环。（使用旋片泵后，密封通风口，防止杂质进入旋片泵）确保扩散泵和旋片泵阀门关闭。

6、在触摸屏操作界面上启动旋叶泵和扩散泵。