半导体自动化设备是什么

问题描述

精选答案

半导体自动化设备检查测试T轴马达和驱动机构，如有需要更换。检查测试R轴马达和驱动机构，如有需要更换。检查和测试R轴原点和限位传感器，如有需要更换。

半导体自动化设备主要适应于集成电路、芯片制造等半导体前段工序。用来搬送晶圆，晶圆尺寸范围2英寸——12英寸。一般来讲是由r轴、t轴和z轴三个轴构成。

半导体自动化设备分为真空自动化设备和大气自动化设备。