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为什么需要硅化物

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问题更新日期:2024-10-14 12:01:22

问题描述

为什么需要硅化物希望能解答下
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因为硅与氧生成致密氧化膜,能够阻止氧在常温和高温对过渡金属发生氧化作用,因此,硅化物可以作为保护层。多在超大规模集成电路中使用,如用作金属栅、肖特基接触、欧姆接触等。

硅化物熔点不高,热导率高,而抗热震性好,硬度较高,但脆性也大,有金属光泽,电阻率低。用途最多的硅化物是MoSi,熔点2030℃,硬度HV1250,抗压强度2310MPa,MoSi发热体发热温度为1600℃,可长期使用,是空气气氛中温度最高的发热体之一,用自蔓延铝热法制造的弥散AlO,质点的MoSi发热体,使用温度可达1800℃,金属、金属氧化物加碳和硅反应,可制得硅化物。

其他回答

金属硅化物是指过渡金属与硅生成的硬质化合物。由于硅原子半径较大,不能与过渡金属生成间隙化合物,因而这类硬质化合物化学成分稳定金属硅化物具有好的抗氧化性