mems芯片和cpu芯片的区别

问题描述

精选答案

MEMS中文名称是微机电系统。

MEMS芯片是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，即做一个可以把外界的物理、化学信号转换成电信号的纳米级机械系统。

MEMS芯片的制造工艺和cpu这种集成电路芯片完全不同，且一种MEMS芯片对应一种制造工艺。