cvd法生长某种材料的过程与原理

问题描述

精选答案

主要是VLS机理 即碳源气体分解产生自由基，以碳原子的形式溶解在催化剂颗粒中，再析出产生碳纳米管。 对于没有金属催化剂的体系，也有自由基直接生长机理，即开口生长机理。 lz，这么专业的问题你还指望着等其他人回答不？