电路设计中，dummy的作用是什么

问题描述

精选答案

IC版图除了要体现电路的逻辑或功能确保LVS验证正确外，还要增加一些与LVS（电路匹配）无关的图形，以减小中间过程中的偏差，我们通常称这些图形为dummy layer。有些dummy layer是为了防止刻蚀时出现刻蚀不足或刻蚀过度而增加的，比如metaldensity 不足就需要增加一些metal dummy layer以增加metal密度。另外一些则是考虑到光的反射与衍射，关键图形四周情况大致相当，避免因曝光而影响到关键图形的尺寸。下面列举了几个例子，其中还夹杂一些其他内容：

1，MOSdummy

在MOS两侧增加dummy poly，避免Length受到影响。对NMOS先加P type guard ring连接VSS，接着加Ntype guard ring连接VDD。对PMOS先加N type 连接VDD，接着加Ptype连接VSS。拆分MOS应为偶数根，Source端与四周guar ring就近连接。比如拆分NMOS为偶数根, 连接VSS的端在外侧并直接与四周guard ring相连。

3, CAP dummy

增加dummy方法类似，用Nwell阻挡相自于substrate的noise，Nwell接高电位与sub 反偏。