euv是什么意思

问题描述

精选答案

简单来说EUV是UV紫外线中波段处于（10nm~100nm）的短波紫外线。而在光刻机工艺中通常定义在10 ~ 15 nm紫外线。

光刻的原理是在已经切割好的晶圆（通常是多晶硅）上覆盖一层具有高度光敏感性光刻胶，再用紫外线如深紫外光(DUV)、极紫外光(EUV)透过掩模照射在晶圆表面，被紫外线照射到的光刻胶会发生反应。

其他回答

学习有道

euv是指紫外光的意思。

极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。