MEMS简称

问题更新日期：2024-10-14 18:26:20

问题描述

精选答案

微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical-Systems, MEMS）是指大小在毫米量级以下，构成单元尺寸在微米、纳米量级的可控制的可运动的微型机电装置，是集成微机构、微传感器、微执行器以及信号处理控制等功能于一体的系统。

其他回答

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MEMS，就是微机电系统的英文缩写。

其他回答

工程机械

微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。