容器泵压验漏方法分别有哪些

问题描述

精选答案

对比设计真空值和测量真空值，来判断是否是真的漏气。有时候，很可能在真空容器设计过程中，存在着内漏气（virtual leak），那也会导致难以提高真空。

各个不同的真空水平有不同的检漏方法。：

一个大气压到0 torr：

直接听声音，可以降扳手一端贴着真空容器，另一端贴近耳朵。根据声音大小，移动扳手，寻找噪音点。一般的KF法兰，窗上的大漏很容易通过这个方法找到。

0 torr到10^-5 torr:

用酒精或丙酮喷射到可能会漏的地方。由于漏点被酒精堵住，真空会有瞬间很明显的变好。如果漏点比较大，酒精进入真空室内部，真空会明显变差。

10^-4 torr 到10^-10torr:

使用四极质谱检漏仪检查。将检漏仪接在分子泵的T口处，关闭机械泵，让气经过主分子泵后进入检漏仪。在真空室每个可能会漏的地方慢慢得喷氦气。氦气的流速极小，嘴唇刚刚能感受到为宜。检漏仪如果检测到氦气信号，就能查到漏的位置了。

10^-11 torr 到10^-13 torr:

如果判断是漏，检测的难度比较大。已经到了检漏仪的极限了。而且一般的封接口，焊缝多多少少存在极小的漏率。这时需要真空室有剩余气体分析仪。然后将怀疑漏的地方用塑料袋包裹，并通入氦气。等待后，看氦气在剩余气体分析仪里的信号变化。然后逐个位置仔细检查。