krf和arf光刻胶的区别

问题描述

精选答案

两者光源波长不同。

arf和krf光刻机最大区别是光刻机的光源波长不同，其中krf波长为248nm，arf波长为193nm，arf光刻机的分辨率更好，技术含量更高。arf和krf都属于深紫外光范畴，也都是duv光刻机应用光源，但是光源技术上相差一代。另外，由于光源波长不同两者的光刻胶也不能通用。