功率器件需要光刻机吗

问题描述

精选答案

需要。IGBT用的光刻机都是低端的。

目前IGBT基本都是90nm以上制程，国内上海微电子90nm光刻机是可以做的，IGBT等功率器件芯片对制程的要求，没有逻辑芯片等集成电路芯片那么高，主流制程普遍在350nm以上，最新的制程需求是150nm, 所以对应的光刻机设备不会受到像14nm、7nm制程那样的约束。随着国内制程技术的逐步成熟，IGBT芯片制造设备（含光刻设备）的国产替代也正在加速。