mos结构的电荷存储原理

问题描述

精选答案

埋沟电容是在一个p-型衬底上建造的;在p-型衬底表面上形成一个n-型区(~1μm厚);然后，生长出一层薄的二氧化硅(~0.1μm厚);再在二氧化硅层上用金属或高掺杂的多晶硅制作电极或栅极;至此完成了MOS电容的制作。