xps半定量分析是什么

问题描述

精选答案

鉴于光电子的强度不仅与原子的浓度有关，还与光电子的平均自由程、样品的表面光洁度，元素所处的化学状态，X射线源强度以及仪器的状态有关。

因此，XPS技术一般不能给出所分析元素的绝对含量，仅能提供各元素的相对含量。