真空漏气率怎么衡量

问题描述

精选答案

是用系统的最大允许漏率/20，因为漏率——Q漏＝V(P2-P1)/t，其中Q漏： 系统漏率(Pa•l/s) V： 系统容积(l) P1： 真空泵停止时系统中压强(Pa) P2： 真空室经过时间t后达到的压强(Pa) t： 压强从P1升到P2经过的时间(s)如果这20个腔室的状态一致，即漏气速率相同，那么，不管是联在一起还是单独隔开，它们在抽气停止相同时间后达到的压强是一致的，因此，漏率和腔室容量成正比，而不需要考虑压强和时间的影响。

当测出整个真空系统的漏率后，单个系统的漏率便可以由容积比分别算出来，用公式表达如下：Q漏＝V1(P2-P1)/t+V2(P2-P1)/t+V3(P2-P1)/t+...+V20(P2-P1)/t =Q1漏 + Q2漏 + Q3漏 + ...+Q20漏

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