EUV光源介绍

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精选答案

EUV光源是极紫外光源的缩写，是一种用于芯片光刻制造的先进技术。EUV光源的技术难度极高，被视为目前光刻技术中的瓶颈之一。不过在技术取得突破之后，EUV光源极大地提高了IC芯片。