离子泵的原理

问题描述

精选答案

离子泵的工作原理，在2个平面阴极之间是一个蜂窝状的阳极结构。所加磁场垂直于阴极板，并平行于蜂房的轴。电子围绕磁力线作螺旋运动，使气体分子电离，电离产生的电子接着使其它气体分子电离。在碰撞过程中，电子交出能量，并逐渐向阳极移动。正离子则加速向由钛制成的负极移动。离子与钛互作用，至少发生3种抽气作用。

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今跃寄宿考研

离子泵的基本原理是利用阴极放电产生气体分子的离子,离子撞击阴极而被阴极捕捉,同时也产生溅射效果。阴极材料用金属Ti制作,金属Ti被溅射后,在腔体的内壁连续形成活性膜,继续和气体分子反应,从而不断进行排气。