射频电源和直流电源的区别
问题更新日期:2024-10-15 07:43:43
问题描述
射频电源和直流电源的区别求高手给解答
- 精选答案
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射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压,频率在射频范围(约3KHz~300GHz)内、具有一定功率的电源。
射频电源已广泛应用于半导体工艺设备;LED与太阳能光伏产业;科学实验中的等离子体发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。
直流电源有正、负两个电极,正极的电位高,负极的电位低,当两个电极与电路连通后,能够使电路两端之间维持恒定的电位差,从而在外电路中形成由正极到负极的电流。直流电源是一种能量转换装置,它把其他形式的能量转换为电能供给电路,以维持电流的稳恒流动。
- 其他回答
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溅射过程所用设备的区别就是电源的区别。其它都一样,就是所用电源不一样。直流运用直流电源,射频运用交流电源(射频属于交流范畴,频率是13.56MHz
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