mems模块组成

问题描述

精选答案

微机电系统(MEMS)主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。

MEMS技术的出现开辟了一个全新的领域和产业。它们具有许多传统传感器无法比拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控和军事等领域都有着十分广阔的应用前景。