光刻装置及其控制方法

问题描述

精选答案

光刻装置是一种利用光学原理来制造微纳结构的工具。

它通过将液态光刻膜或固态光刻膜覆盖在基板上，并通过投射光源将掩模上的图形投射到刻膜上，使用激光或其他光源暴露图形，然后用溶剂清除未曝光的膜层，以形成微纳结构。

光刻控制方法主要包括掩模制作、光源投射、曝光控制、刻膜处理等步骤。