poly结构

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精选答案

多晶矽（poly）通常用来形容半导体电晶体之部分结构：至於在某些半导体元件上常见的磊晶矽（epi）则是长在均匀的晶圆结晶表面上的一层纯矽结晶。多晶矽与磊晶矽两种薄膜的应用状况虽然不同，却都是在类似的制程反应室中经高温（600℃至1200℃）沉积而得。