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化学品电子级和el级的区别

六安教师 | 简单学习,快乐成才!         
问题更新日期:2024-10-15 11:46:26

问题描述

化学品电子级和el级的区别急求答案,帮忙回答下
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电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级.UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺。

其他回答

电子级是对用于电子元器件生产过程中使用的化学品的一种泛指,相对于一般工业,其纯度要求更高,尤其是平板显示行业或者半导体行业。其更每种化学品更中的有害杂质含量,金属离子,固体颗粒等等。

EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小 规模集成电路及电子元件加工工艺等。