光刻机分辨率与焦深的关系

问题描述

精选答案

光刻机的分辨率越高，芯片刻录的线路就越小，从而集成更多线路，提高计算能力，降低功耗，光刻机的焦深越大，芯片就能构筑更多架构层数，从而提升芯片的性能，两者相结合就能大幅度提高芯片性能，并且降低芯片功耗。