ESC半导体是什么

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精选答案

ESC学名静电卡盘，用于半导体中把硅片吸附在基座上，实现加热，冷却等效果。有单极和双极两种，现在业界通常用双极，就是通过直流电压互相独立的两极通过电容作用在硅片背面，使其产生相反的电荷。

其他回答

公务员仕途

ESC是半导体干法刻蚀、PVD、CVD等制造设备最为关键的专业夹具，不仅对产品合格率起决定作用，还能增加5%硅片有效面积，达到更高产出比，是“会卡脖子”的核心技术。