硅片的制备

问题描述

精选答案

单晶硅的制备先是拉单晶，硅单晶棒有直拉法（CZ法）和区熔法两种

硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光，以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产

其他回答

建筑师小鱼

1.与焦炭在电炉中高温，生成粗硅

2.粗硅和Cl2反应，生成SiCl4

3.对SiCl4进行精馏，得纯SiCl4

4.将纯SiCl4与H2在1200°C进行反应，得纯Si

这就是高纯度单晶硅的制取步骤