第三代半导体外延片是什么

问题描述

精选答案

外延片是半导体材料的一种，是在村底上做好外延层的硅片。外延生长（通常亦简称外延） 是半导体材料和器件制造的重要工艺之一。外延片决定器件约70%的性能，是半导体芯片的重要原材料。

外延生长就是在一定条件下，在经过仔细制备的单品衬底上，沿着原来的结晶方向生长出一层导电类型电阻率、 厚度和晶格结构、完整性等都符合要求的新单晶层的工艺过程，所生长的单晶层称为外延层。目前市场保有量较大的外延片为GaAs、GaN和SiC外延片。

其他回答

土狗爱学习

是指在单晶衬底上生长一层新单晶形成的产品,外延片决定器件约70%的性能,是半导体芯片的重要原材料。第三代半导体外延片作为半导体原材料,位于半导体产业链上游,是半导体制造产业的支撑性行业。第三代半导体外延片制造商在衬底材料上通过CVD设备、MBE设备等进行晶体外延生长、制成第三代半导体外延片。