高纯工艺集成系统是什么

问题描述

精选答案

高纯工艺系统是指包括提供高纯度气体、化学品、液体等等一系列的工艺设备和相关服务。

随着泛半导体（集成电路、平板显示、光伏、LED等）、光纤、生物医药及食品饮料等现代制造业的不断发展，产业链上IC设计、芯片制造、封装、测试各环节的技术难度不断加大，进入门槛不断提升，产业链呈现专业化分工趋势，高纯工艺系统行业应运而生。

高纯工艺系统核心技术是设计，以高纯气体系统为例：

高纯气体系统由专用气体设备、气体侦测传感系统、自控及软件系统、气体管阀件等组成；系统的前端连接高纯气体供气装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

高纯气体系统能将制程所需的高纯气体从供气端安全稳定的传输至使用终端设备，同时保证高纯气体不会因吸附气体和水分、脱放气、产生颗粒等原因受到污染，保证气体纯度，使气体满足生产工艺的纯度要求。