扫描电镜SEM/EDX测试的井深是多少

问题描述

精选答案

```` 应该是景深吧`` 焦深计算公式 L= ±[(r/M)-d]/2α 其中： L: 焦深 r: 显像管最小分辨距离 M：放大倍数 d：入射电子束直径 2α：物镜孔径角。

从上面的式子可以看出影响焦深的因素，其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r（显像管的分辨率）和2α都是未知数，实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受，还是直观的测量一下为好。又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米，孔径角2α=10-2 rad，r=0.3mm。计算焦深如下： 1000倍下为59.4微米。

5000倍下为11.4微米。

10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。