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场氧的定义

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问题更新日期:2024-10-16 03:12:26

问题描述

场氧的定义希望能解答下
精选答案
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场氧是指在半导体器件制造过程中,在特定区域生长出的氧化膜。

场氧的厚度和形状可以通过光刻技术来控制,因此在集成电路制造中有着重要的应用。

其他回答

场氧是为了实现隔离,也就是防止出现寄生管,而栅氧是为了实现电流通路,进行场控的介质!